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真空速凝爐的應急措施
發(fā)布時間:2022-06-17   瀏覽:3427次

  真空速凝爐的應急措施

  真空速凝爐主要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝,可進行真空燒結,氣體保護燒結及常規(guī)燒結,是半導體專用設備系列中一種新穎的工藝裝備,它設計構思新穎,操作方便,結構緊湊,在一臺設備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他領域內的真空熱處理,真空釬焊等工藝。下面,小編就為您介紹壓縮空氣的停止、停電、加熱電源掉電的應急措施。

真空速凝爐

  一、壓縮空氣的停止

  1、壓縮空氣異常報警時,真空速凝爐處于停止狀態(tài),應盡快到備用的壓縮機房,讓其恢復工作。

  2、真空中如壓縮空氣異常報警,且恢復需要較長時間時,則終止真空,讓設備停下來。

  二、停電

  1、停電時,如果斷水,應立即接通備用的冷卻水,接通水源。

  2、如果在非升溫、加熱和冷卻時,能夠盡快恢復時,重新啟動真空速凝爐,繼續(xù)運轉如需要較長時間,則將設備保持原狀。

  3、如果正在加熱和冷卻時,能夠盡快恢復時,重新啟動設備,如果需要較長時間時,則保持原狀,讓設備自然冷卻下來。

  三、加熱電源掉電

  1、水壓低,當水壓低于0.15MPa,真空速凝爐的壓力表會報警。

  2、接地故障。

  3、真空放電,水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固,與反射屏絕緣要好。

  4、若真空速凝爐爐內壓力為13.3-66.5Pa時(此真空度容易發(fā)生放電)。電源出現故障,掉電的原因可以認為由于電介質擊穿而引起的放電。

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